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洁净烘箱广泛应用晶圆片的硬烤、软烤、医药、老化、热固化。
内胆采用304不锈钢1.5毫米厚镜面。不锈钢板外壳采用1.2毫米厚优质冷轧钢板。保温材质采用120K高级保温棉，六面保温断热，保温厚度80到150毫米。载物层架可根据物品大小流缓解层间距，提高空间利用率。
温度控制系统采用日本欧姆龙智能温度控制器，PID自动演算。箱内采用水平送风或垂直送风风道。两侧采用高密度冲孔风板，精准控制导流板角度确保箱内温度均匀性。
送风装置采用大功率三相异步耐高温型长轴静音马达。电加热系统采用覆套式不锈钢无尘化电热发生器，洁净不产尘。无缝洁净不锈钢覆套。采用平面水平后边送风经耐高温。高效过滤器H.E.P.A装置往前门，0.3um直径PARTICLE，过滤效率99.97%，箱内洁净度可达Class100。
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